Optisk vakuumbeleggingsmaskinbeleggingsteknologi

Optiske vakuumbeleggmaskiner er mye brukt i industrien, som mobiltelefonkameraer, mobiltelefondeksler, mobiltelefonskjermer, fargefiltre, brilleglass etc. Presisjonsstandarden er meget høy, og ulike belegg kan belegges, som AR antirefleksjonsfilm, dekorativ kunst Plastfilmer, motorkeramiske filmer, forbedrede reflekterende filmer, ITO-ledende filmer og bunnhindrende filmer har en høy andel av salget i markedet.

Hvilken prosessteknologi bruker den optiske vakuumbeleggmaskinen til å belegge så mange lag?

Når den optiske vakuumbeleggmaskinen fordamper og akkumuleres, blir kilderåmaterialene i vakuumsystemet oppvarmet eller ionestråle negative elektroner for å fordampe. Det er mistanke om damp på den optiske overflaten. I løpet av fordampningsperioden, i henhold til den nøyaktige manipulasjonen av oppvarming, arbeidstrykket til vakuumpumpen og den nøyaktige plasseringen og rotasjonen av underlaget, kan et jevnt optisk belegg med en spesiell tykkelse produseres. Fordampningen har relativt milde egenskaper, som vil gjøre belegget mer og mer løst eller porøst. Denne typen løst belegg har evnen til å absorbere vann, noe som endrer den rimelige brytningsindeksen til filmen, noe som vil resultere i reduserte egenskaper. Flyktige belegg kan forbedres ved hjelp av elektronstråleassistert avsetningsteknologi, hvor elektronstrålen rettes mot waferoverflaten. Dette forbedrer adsorpsjonen av det relative optiske overflatelaget til kildematerialet, noe som resulterer i en stor mengde indre spenninger, noe som fremmer høyere tetthet og mer holdbarhet av belegget.

Det høyenergiske elektrostatiske feltet kan akselerere elektronstrålen i elektronstrålemagnetronsputtering (IBS) til den optiske vakuumbeleggeren. Disse øyeblikkelige hastighetene induserer betydelig mekanisk energi i de positive ionene. Ved kollisjon med kildematerialet "sutter" elektronstrålen molekylene til målmaterialet. De magnetronforstøvede positive målionene (molekyler omdannes til positive ioner av hydrolysesonen) har også mekanisk energi, noe som resulterer i en tett film når de er i kontakt med den optiske overflaten. IBS er en presis og repeterbar teknikk.

Optisk vakuumbelegger Plasmamagnetronforstøvning er en generell betegnelse for en rekke teknologier som avansert plasmamagnetronforstøvning og magnetronforstøvning. Uansett hva slags teknologi det er, inkluderer det å lage plasma. Positive ioner i plasmaet akselereres inn i kildematerialet, kolliderer med løse energiske positive ioner, og magnetronforstøver deretter på den overordnede optiske målkomponenten. Selv om forskjellige typer plasmamagnetronsputtering har sine unike egenskaper, fordeler og ulemper, kan vi kombinere denne teknologien sammen, fordi de har samme prinsipp, forskjellen mellom dem, sammenligne denne typen belegningsteknologi og papiret. er mye mindre forskjellige fra hverandre.

I motsetning til fordampningsavsetning, fordamper ikke kildematerialet som brukes til molekylærlagsavsetning (ALD) fra væsken, men eksisterer umiddelbart i form av en damp. Selv om prosessen bruker en damp, er høye omgivelsestemperaturer fortsatt nødvendige i vakuumsystemet. I hele prosessen med ALD blir gasskromatografiforløperen levert i henhold til den ikke-sammenflettede enkeltpulsen, og enkeltpulsen er selvbegrenset. Denne typen prosessering har et unikt kjemisk designskjema, hver enkelt puls fester seg bare til ett lag, og det er ingen spesielle krav til geometrien til det optiske overflatelaget. Derfor lar denne typen prosessering oss kontrollere tykkelsen og utformingen av belegget i relativt høy grad, men det vil redusere akkumuleringshastigheten.