Trykkkontrollprinsipp for vakuumbeleggutstyr

1. Bakgrunnsinnledning
Vakuumbeleggutstyr er et slags utstyr som er mye brukt i industriell produksjon. Hovedfunksjonen er å sette materialet som må belegges i vakuumbeleggskammeret, og gjennom reaksjonen under høy temperatur og høyt vakuummiljø blir filmlaget jevnt avsatt på overflaten av materialet. , og danner et visst beleggslag med spesielle funksjoner og egenskaper. Blant dem er vakuumgraden og vedheftingshastigheten i utstyret viktige indikatorer som påvirker kvaliteten på beleggslaget, og stabiliteten i vakuumgraden avhenger av trykkkontrollen i utstyret.
2.
1. Definisjon av vakuumgrad
Før du introduserer prinsippet om trykkkontroll, er det nødvendig å introdusere hva vakuum er. I fysikk refererer vakuum til et gassmiljø hvis trykk er mindre enn atmosfæretrykk, så graden av vakuum refererer til gasstrykket i et visst rom. Generelt måles vakuum vanligvis i Pascals (PA) eller Meters Bar (Mbar). I vakuumbeleggutstyr er det vanlige vakuumområdet 10^-6pa ~ 10^-2pa.
2. Prinsippet om trykkkontroll
Når vakuumet er for høyt eller for lavt, vil det påvirke den normale driften av utstyret. Derfor er det nødvendig å kontrollere vakuumnivået i utstyret gjennom en viss metode. Blant dem er trykkkontroll en relativt enkel og effektiv kontrollmetode. Spesifikt er prinsippet om trykkkontroll å bruke en trykkkontroller for å kontrollere gasstrømningshastigheten i utstyret ved å oppdage trykket til den kontrollerte enden, og deretter gjennom tilbakemeldingsmekanismen, ved å kontrollere åpningen av ventilen, for å oppnå formålet med å kontrollere trykket.
3. Den grunnleggende sammensetningen av trykkkontrolleren
I vakuumbeleggutstyr brukes en trykkkontroller vanligvis for å kontrollere trykket. Den grunnleggende sammensetningen inkluderer fire deler: deteksjonssensor, kontroller, aktuator og kontrollsystem.
Deteksjonssensor: Den brukes hovedsakelig til å oppdage trykkendringen av den kontrollerte enden og konvertere den til en tilsvarende elektrisk signalutgang for bruk av kontrolleren.
Kontroller: Den mottar hovedsakelig den elektriske signalutgangen fra sensoren, prosesser og analyserer den, og mater deretter analyseresultatet tilbake til aktuatoren for å kontrollere aktuatorens åpningsgrad.
Aktuator: Det kontrollerer hovedsakelig strømningshastigheten for gass i utstyret ved å kontrollere ventilens åpningsgrad, for å oppnå formålet med å kontrollere trykket.
Kontrollsystem: Det brukes hovedsakelig til å overvåke og kontrollere forskjellige indikatorer i utstyret, for eksempel temperatur, vakuumgrad, etc., og lage en serie kontrollstrategier.
3. Sammendrag
Oppsummert er prinsippet om trykkkontroll i vakuumbeleggutstyr å kontrollere trykket i utstyret gjennom en relativt enkel og effektiv tilbakemeldingsmekanisme. For å etablere et slikt stabilt kontrollsystem krever teknisk støtte fra forskjellige aspekter av utstyrskontrollsystemet, for eksempel parameterovervåking, kontrollalgoritme, aktuatorkontroll, systemkobling, etc. Disse tekniske faktorene krever samarbeid fra visse profesjonelle og tekniske personer for å sikre at utstyret kan vise mer utmerket ytelse.