Forstå hvordan vakuumbeleggingsprosessen blir realisert

Vakuumbelegger en prosess som brukes til å produsere tynnfilmmaterialer av høy kvalitet. Den produserer tynne filmer ved å fordampe eller sprude organiske eller uorganiske materialer på overflaten av et underlag under vakuumforhold. Denne artikkelen vil introdusere implementeringen av vakuumbelegg i detalj.

Vakuumbeleggingsprosessen inkluderer følgende trinn:

1. Velg riktig underlag og materiale

Å velge riktig underlag og materiale er det første trinnet i vakuumbelegg. Underlaget kan være glass, plast, metall eller andre nanomaterialer. Materialer kan være organiske eller uorganiske, for eksempel metaller, halvledere, oksider eller nitrider.

2. Last inn vakuumbeleggssystemet

Det andre trinnet er å laste underlaget og materialene i vakuumbeleggingssystemet. Vakuumbeleggingssystemet inkluderer et vakuumkammer, en metallfordamper, en sputter og et kontrollsystem. Vakuumkammeret er et lukket rom som brukes til å opprettholde et vakuummiljø, metallfordamper og sputters er enheter som brukes til å fordampe eller sputre materialer på underlag, og kontrollsystemet brukes til å overvåke og justere vakuummiljøet og materialfordamping eller sputringhastighet.

3. Vakuum

Etter å ha lastet materialet og underlaget, skal vakuumkammeret evakueres. Støvsuging er et veldig viktig skritt, fordi det å opprettholde et lavtrykk og miljø med høy renhet kan garantere kvaliteten på membranen. Vakuummiljøet er vanligvis under 10^-6 mbar for å ekskludere gassmolekyler og andre miljøgifter.

4. Materiell fordamping eller sputtering

Når vakuummiljøet når ønsket trykk, kan materialet fordampes eller spruteres på underlaget. Det er to metoder for fordampning av materialet: termisk fordampning og fordampning av elektronstråler. Sputtering har også to metoder: magnetron sputtering og bue sputtering. Uansett hvilken metode som brukes, må materialfordamping eller sputringhastighet og filmtykkelse kontrolleres.

5. Lag flerlagsfilm

Når en enkeltlagsmembran er blitt fremstilt, kan flere lag stables sammen for å danne en kompositt. Ulike materialer og avsetningsprosesser kan brukes, for eksempel veksel av avsetning, flerpistolmateriale medavsetning og sonet avsetning.

6. Testmembrankvalitet

Det siste trinnet er å teste kvaliteten på membranen. Tester kan inkludere tykkelse, fysiske egenskaper, optiske egenskaper og elektriske egenskaper, blant andre. Bestem om membranmaterialet oppfyller kravene i henhold til testresultatene.

Kort sagt, vakuumbeleggsteknologi er en metode for å oppnå tynne filmer av høy kvalitet. Den må velge passende underlag og materiale, laste vakuumbeleggingssystemet, støvsugere, fordampe eller spytte, lage flerlagsfilm og teste filmkvaliteten. Vakuumbeleggsteknologi har blitt mye brukt innen elektronikk, optikk, medisinsk og energifelt.